扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种利用电子束来扫描样品表面并获取显微镜像的电子显微镜。
扫描电子显微镜利用电子束和扫描技术对物质进行研究观测。由于电子在材料中的穿透深度比光子小得多,所以扫描电子显微镜不仅可以观察材料表面的形貌和结构,还可以观测材料深处的结构。
扫描电子显微镜广泛应用于材料科学、生物医学、环境科学、地球科学、半导体、纳米材料和新材料等多个领域。应用扫描电子显微镜可以解决很多普通光学显微镜和透射电子显微镜不能解决的问题。
扫描电子显微镜的优点是可以放大特别小的样本而不会失去清晰度和细节。它可以轻松观察纳米级别的样本,并高清晰度地观察样品表面和纹理。尽管扫描电子显微镜具有多种优点,但它仍然有一些限制,如高昂的成本、对样品制备的要求较高等问题。